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硬脆材料超精密孔/邊加工項目簡介 受特殊通光孔徑的限制，各種異形的光學元件從常規的圓形光學元件到橢圓形、八邊形、三角形、星形等層出不窮；這些元件的材質通常是單晶硅、石英、玻璃等硬脆材質，在進行通孔、盲孔及特殊外輪廓加工時，面臨一定的加工難度。 未解決以上難題，我單位設計開發一系列加工工藝及其技術，可實現各類異形孔及異形輪廓光學元件的高質量加工，同時保證光學元件的精度、表面粗糙度、光潔度水平。 |
四川省科技協同創新促進會
Sichuan scientific collaborative innovation promoting association